技術(shù)編號：3765257
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一個適合于將粘性液體、含有粘性物質(zhì)的液體定量排出用的液體定量排出方法以及裝置。在半導(dǎo)體制造工藝中，作為將電子材料進行規(guī)則或者不規(guī)則的點狀涂布、線狀涂布所使用的以往的定量排出裝置，是例如日本專利公開第49106/1992號公報所公開的螺桿式排出裝置，它將從排出口排出的液體的排出量由螺桿的旋轉(zhuǎn)速度、轉(zhuǎn)動時間等來控制，由此，通過螺桿的旋轉(zhuǎn)速度和停止時的高精度的控制，使其不受液體的粘度、流動性或者貯存在容器內(nèi)的液體量的影響，在連續(xù)的排出操作中，也能穩(wěn)定液...
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