技術(shù)編號：3766096
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于芯片制造領(lǐng)域，具體是有關(guān)一種通過提高過濾網(wǎng)的面積來增大粉塵過濾功能的涂膠機。背景技術(shù) 在芯片制造過程中，為了刻蝕的需要，經(jīng)常會在硅片上根據(jù)刻蝕的形狀涂抹光刻膠，所以涂膠機是一種經(jīng)常使用的設(shè)備。然而，在使用過程中，光刻膠會產(chǎn)生大量的光刻膠粉塵，需要用過濾網(wǎng)將其過濾。由于涂膠機的產(chǎn)能較高，隨之而產(chǎn)生的光刻膠粉塵就比較多。在過濾網(wǎng)上的粉塵過多時其會自過濾網(wǎng)上脫落，如果落在硅片上，會極大影響硅片的品質(zhì)?，F(xiàn)有的粉塵過濾網(wǎng)形狀如圖1所示，其為涂膠機具有上杯盤...
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