技術(shù)編號：3768332
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種噴嘴，且特別是有關(guān)于一種用于涂布液體的狹縫噴嘴。 背景技術(shù)在現(xiàn)有技術(shù)中，對基板等產(chǎn)品的制程包含在其上均勻涂布液體，如顯影液。通常使 用狹縫噴嘴進(jìn)行顯影液涂布作業(yè)時，利用化工泵(Chemical Pump)轉(zhuǎn)速加壓，將顯影液從狹 縫噴嘴的刀口吐出，同時移動狹縫噴嘴，使顯影液均勻涂布。目前對于顯影液涂布制程來 說，狹縫噴嘴的顯影液吐出量不足，搭配顯影液涂布作業(yè)的噴嘴速度過低，導(dǎo)致基版顯影下 刀處與顯影收刀處產(chǎn)品片內(nèi)顯影時間差異過大，當(dāng)產(chǎn)品規(guī)格...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。