欧美在线观看视频网站,亚洲熟妇色自偷自拍另类,啪啪伊人网,中文字幕第13亚洲另类,中文成人久久久久影院免费观看 ,精品人妻人人做人人爽,亚洲a视频

一種化學(xué)機(jī)械拋光液的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3769899

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本發(fā)明涉及一種化學(xué)機(jī)械拋光液,尤其涉及一種用于拋光多晶硅的化學(xué)機(jī)械拋光液。背景技術(shù)在集成電路制造中,互連技術(shù)的標(biāo)準(zhǔn)在提高,一層上面又沉積一層,使得在襯底表面形成了不規(guī)則的形貌?,F(xiàn)有技術(shù)中使用的一種平坦化方法就是化學(xué)機(jī)械拋光(CMP),CMP 工藝就是使用一種含磨料的混合物和拋光墊去拋光一硅片表面。在典型的化學(xué)機(jī)械拋光方法中,將襯底直接與旋轉(zhuǎn)拋光墊接觸,在襯底背面施加壓力。在拋光期間,墊片和操作臺(tái)旋轉(zhuǎn),同時(shí)在襯底背面保持向下的力,將磨料和化學(xué)活性溶液(通常稱(chēng)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
該分類(lèi)下的技術(shù)專(zhuān)家--如需求助專(zhuān)家,請(qǐng)聯(lián)系客服
  • 平老師:1.功能涂層設(shè)計(jì)與應(yīng)用 2.柔性電子器件設(shè)計(jì)與應(yīng)用 3.結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)參數(shù)測(cè)試與裝置研發(fā) 4.智能機(jī)電一體化產(chǎn)品研發(fā) 5.3D打印工藝與設(shè)備
  • 郝老師:1.?先進(jìn)材料制備 2.?環(huán)境及能源材料的制備及表征 3.?功能涂層的設(shè)計(jì)及制備 4.?金屬基復(fù)合材料制備
金昌市| 宁德市| 广汉市| 柘城县| 保康县| 蕲春县| 宝应县| 宁河县| 山东省| 监利县| 金山区| 达州市| 朝阳市| 唐河县| 汉阴县| 施秉县| 岳池县| 紫云| 沙雅县| 嘉黎县| 津南区| 漠河县| 萨迦县| 辽阳市| 内丘县| 延庆县| 南丰县| 小金县| 元朗区| 新平| 年辖:市辖区| 疏附县| 噶尔县| 浦江县| 讷河市| 周至县| 阿坝| 友谊县| 富阳市| 沽源县| 开阳县|