技術(shù)編號：3772790
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于當(dāng)對構(gòu)成功率模塊的基板的表面形成材料粉末的覆膜時(shí)確定形成覆膜的成膜區(qū)域的掩模及加熱基板的基板加熱裝置。另外本發(fā)明涉及用于噴射裝置向基板的表面噴射材料粉末而形成覆膜的成膜方法。背景技術(shù)近年來，作為上述的成膜方法，提出了例如冷噴涂法。冷噴涂法是指噴射裝置將材料粉末和被加熱到比材料粉末的熔點(diǎn)或軟化溫度低的溫度的工作氣體一起從噴嘴高速噴射，使固體狀態(tài)的材料粉末碰撞基板的表面而形成覆膜的技術(shù)。與使材料粉末成為熔融或軟化的狀態(tài)而高速地噴到基板的表面的噴鍍...
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