技術(shù)編號：3777991
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種，用于全硅光電子器件、傳感器、生物醫(yī)學和功能材料等領(lǐng)域。背景技術(shù) 1956年，美國貝爾實驗室的A.Uhlirs等(Bell Syst.Tech.J..1956，35，333)對單晶硅片在氫氟酸溶液中進行電化學拋光時發(fā)現(xiàn)，在單晶硅片的表面生成了一種有光澤的黑色、棕色或暗紅色的薄膜，這層薄膜就是新的硅基材料——多孔硅，由于是在單晶硅片表面生成了一層多孔硅，故稱這種硅片為多孔單晶硅片。在當時他們認為這種多孔硅薄膜是一種硅的不完全氧化物，因此沒有給予...
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