技術(shù)編號(hào)：3777993
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種將處理液涂敷在液晶用玻璃基板、半導(dǎo)體基板、薄膜液晶用柔性基板、光掩模用基板、彩色濾光器用基板等(以下，簡稱為“基板”)的表面上的狹縫噴嘴、具有該狹縫噴嘴的基板處理裝置、以及使用了該狹縫噴嘴的基板處理方法。背景技術(shù) 從以前開始，在基板的制造工序中包含有將光致抗蝕劑等處理液涂敷在基板表面的涂敷工序。在涂敷工序中，使用從具有狹縫狀的吐出部的狹縫噴嘴向基板表面吐出處理液的涂敷裝置(所謂的狹縫式涂敷機(jī))。圖22表示利用現(xiàn)有的涂敷裝置100進(jìn)行涂敷處理的...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。