技術(shù)編號：3779503
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及。詳細而言涉及形成含有鈦原子 的被膜的。背景技術(shù)伴隨著液晶顯示元件的大型化，出于透明電極的絕緣、保護的目的，進行 形成氧化物被膜的操作。氧化物被膜的形成方法，已知有以蒸鍍法、濺射法等 為代表的氣相法和使用氧化物被膜形成用涂布液的涂布法。其中，從生產(chǎn)性、 大型基板上的被膜形成容易性的觀點出發(fā)，多采用涂布法。作為涂布液，已知 有四烷氧基硅垸的水解產(chǎn)物以及與其他垸氧基金屬、金屬螯合物的復(fù)合物。用烷氧基金屬制備涂布液時，除有機硅垸氧化物外， 一般使用的烷...
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