技術(shù)編號：3783325
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提供一種，其包括如下步驟將旋涂有聚酰亞胺膜的產(chǎn)品所在環(huán)境溫度升高至100℃～140℃，保溫0.5～1小時；將旋涂有聚酰亞胺膜的產(chǎn)品所在環(huán)境溫度升高至190℃～210℃，保溫1～2小時；將旋涂有聚酰亞胺膜的產(chǎn)品所在環(huán)境溫度升高至295℃～305℃，保溫1.8～2.5小時；將旋涂有聚酰亞胺膜的產(chǎn)品所在環(huán)境溫度冷卻至常溫。該采用分段控制溫度的方法使聚酰亞胺膜內(nèi)的水分、溶劑等可以充分揮發(fā)，這樣固化后的聚酰亞胺膜在經(jīng)過后續(xù)的光刻、腐蝕、退火等工藝處理后就不會出...
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