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一種led襯底晶片加工研磨液制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3784933

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本發(fā)明公開了一種LED襯底晶片加工研磨液制備方法,襯底晶片為藍寶石襯底晶片。所述研磨液由分散劑、懸浮劑、金剛石微粉、亞硝酸鈉、S溶劑、去離子水所構(gòu)成;本發(fā)明制備方法是將去離子水放入磁力攪拌器攪拌5分鐘,然后將分散劑、懸浮劑、亞硝酸鈉、S溶劑按比例分別倒入容器內(nèi),攪拌15分鐘,充分攪勻后,將金剛石微粉緩慢倒入容器內(nèi)攪拌20分鐘,濃度控制在5~10%。采用本發(fā)明的研磨液能夠提高藍寶石襯底晶片的質(zhì)量,而且大大縮短制備周期,從而節(jié)約生產(chǎn)成本,又達到提高勞動生產(chǎn)率的...
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