技術(shù)編號：3790864
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種硅片研磨液包括氧化鋁35-45份、氧化硅15-25份、三聚氰胺10-15份、氧化鈰11-15份、甲基丙烯酸3-9份、硅酸鈉2-5份、氧化鋯1-3份、十八烷基三甲基溴化胺4-13份、聚二烯丙基二甲基氯化銨1-8份、聚氧乙烯醚2-7份、二甲亞砜環(huán)己烷4-8份、羥甲基纖維素3-6份、滲透劑2-8份、表面活性劑3-9份。將上述原料混合在110-130℃下攪拌均勻得到研磨液，固體原料的粒徑為50-120nm。本發(fā)明的制備方法簡單，易實現(xiàn)，本發(fā)明制備的研...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。