技術(shù)編號(hào):3795710
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種,在清潔與狹縫噴嘴的擦拭相關(guān)的構(gòu)件時(shí),霧氣等不會(huì)附著在會(huì)影響被處理體的涂布性能的部分。形成著密閉空間(L1),通過(guò)擦拭來(lái)去除狹縫噴嘴(30)的附著物(100)的擦拭構(gòu)件(41)的清潔是在所述密閉空間(L1)內(nèi)進(jìn)行的。此外,在密閉空間(L1)內(nèi)設(shè)置著將密閉空間(L1)內(nèi)部的氣液排出至裝置外部的排出口(491)。因此,用于清潔擦拭構(gòu)件(41)的雙流體清潔液(wL)或因該清潔而產(chǎn)生的霧氣從所述排出口(491)被排出至裝置外部,而不會(huì)附著在裝置內(nèi)部中...
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