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噴嘴清潔裝置、涂布裝置、噴嘴清潔方法以及涂布方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):3795710

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本發(fā)明提供一種,在清潔與狹縫噴嘴的擦拭相關(guān)的構(gòu)件時(shí),霧氣等不會(huì)附著在會(huì)影響被處理體的涂布性能的部分。形成著密閉空間(L1),通過(guò)擦拭來(lái)去除狹縫噴嘴(30)的附著物(100)的擦拭構(gòu)件(41)的清潔是在所述密閉空間(L1)內(nèi)進(jìn)行的。此外,在密閉空間(L1)內(nèi)設(shè)置著將密閉空間(L1)內(nèi)部的氣液排出至裝置外部的排出口(491)。因此,用于清潔擦拭構(gòu)件(41)的雙流體清潔液(wL)或因該清潔而產(chǎn)生的霧氣從所述排出口(491)被排出至裝置外部,而不會(huì)附著在裝置內(nèi)部中...
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