技術(shù)編號(hào):3801783
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種形成例如布線等規(guī)定形狀的薄膜圖案的薄膜圖案基板、器件的制造方法、和電光學(xué)裝置、以及電子設(shè)備。背景技術(shù) 作為形成用于電子電路或集成電路等的布線等的薄膜圖案的方法,例如使用照相平版印刷法。該照相平版印刷法需要真空裝置等大型設(shè)備和復(fù)雜工序,另外材料使用效率也在數(shù)%左右,不得不廢棄其材料的大部分,制造成本高。與此相對(duì),例如如專利文獻(xiàn)1中所公開(kāi)的那樣,提出使用以液滴狀從液體噴頭噴出液體材料的液滴噴出法即所謂噴墨法在基板上形成薄膜圖案的方法(參照專利文獻(xiàn)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。