技術(shù)編號(hào)：3811012
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及用于將物質(zhì)輸送至處理室的輸送系統(tǒng)和方法，以及用于等離子體處理 制品表面的包括這種輸送系統(tǒng)的設(shè)備。背景技術(shù)已知輸送系統(tǒng)用于將來(lái)自高沸點(diǎn)液體的蒸氣輸送和計(jì)量到真空室內(nèi)，以便在真空 室內(nèi)進(jìn)行化學(xué)或物理處理。這種已知的系統(tǒng)并不是非常適合于液體是化學(xué)反應(yīng)性單體的情 形。在已知的起泡器系統(tǒng)中，載氣通過(guò)液體起泡，吸收并將蒸氣傳輸?shù)秸婵帐覂?nèi)。在已 知的蒸發(fā)器系統(tǒng)中，產(chǎn)生了足夠高的蒸氣壓(1托數(shù)量級(jí))以將蒸氣經(jīng)由質(zhì)量流控制器輸送 到真空室內(nèi)。在蒸氣輸送系統(tǒng)中，加熱...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。