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一種旋涂法制備亞微米聚酰亞胺自支撐薄膜的方法技術資料下載

技術編號:3811255

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本發(fā)明涉及一種應用于短波長光學及激光慣性約束聚變(ICF)等方面的亞微米自支撐聚酰亞胺薄膜的制備方法,屬于聚酰亞胺自支撐膜。背景技術亞微米自支撐聚合物薄膜在極紫外及X射線光學元件中應用的非常廣泛。聚酰亞胺因其優(yōu)異的力學性能,較好的溫度適應性和對 極紫外輻射的阻擋作用,在上世紀九十年代后期逐漸取代了之前的聚丙烯,聚對二甲苯,聚碳酸酯等材料,成為制備金屬膜支撐材料的的首選。聚酰亞胺優(yōu)越的性能具體表現在a.聚酰亞胺的熱分解溫度可以高達600°C,在熱力學溫度4K...
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