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拋光組合物和拋光方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3818612

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本發(fā)明涉及一種用于拋光磁盤基片的拋光組合物,以及使用該拋光組合物的拋光方法。背景技術(shù) 用于拋光磁盤基片的拋光組合物,要求例如當(dāng)拋光組合物用于拋光磁盤基片時只能在磁盤基片表面形成少量的刮痕,并且能夠以較高的拋光率拋光磁盤基片。例如,美國專利第6,818,031號公開了一種經(jīng)過改良以滿足上述要求的拋光組合物。美國專利第6,818,031號中所述的拋光組合物含有有機(jī)膦酸,當(dāng)使用該拋光組合物拋光磁盤基片時,能抑制刮痕的產(chǎn)生。然而,美國專利第6,818,031號中所...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。

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