技術(shù)編號：39900542
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體清洗設(shè)備，具體涉及到一種硅片超聲波清洗機。背景技術(shù)、硅片是指用硅單晶或多晶硅材料制成的薄片，通常具有平整的表面和特定的晶體結(jié)構(gòu)，在半導(dǎo)體工業(yè)中，硅片是制造集成電路和其他電子器件的基礎(chǔ)材料，硅片在進(jìn)行加工時，需要進(jìn)行多次清洗，去除表面的殘留物和有機雜質(zhì)，以便于進(jìn)行加工，硅片清洗包括超聲波清洗、等離子清洗以及其他清洗方式，超聲波清洗是一種常用于硅片清洗的有效方法，它利用超聲波在液體中形成的高頻振動波，通過液體中的微小氣泡的破裂和沖擊效應(yīng)，可以對硅片表面的污染物進(jìn)行有效去除。、現(xiàn)有...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。