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集成輥?zhàn)舆\(yùn)輸艙及異步運(yùn)輸機(jī)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:4001918

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本發(fā)明涉及一種用于在工作站之間運(yùn)送物品的系統(tǒng),更具體地涉及一種用于在工作站之間安全移動(dòng)精密或貴重物品的運(yùn)輸系統(tǒng)。在很多領(lǐng)域,精密或貴重物品必須在工作站之間安全運(yùn)送而不損壞或破壞這些物品。需要仔細(xì)處置的物品包括但不限于藥品、醫(yī)療設(shè)備、平面顯示器、計(jì)算機(jī)硬件如硬盤驅(qū)動(dòng)器、調(diào)制解調(diào)器等,以及半導(dǎo)體晶片。通常,集成電路通過在一個(gè)基板例如半導(dǎo)體晶片上形成多個(gè)層而制成。使用多種加工機(jī)以形成多個(gè)層,在集成電路形成之前晶片通常傳送到幾個(gè)不同的機(jī)器上。除了在晶片上淀積薄膜的...
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