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行進(jìn)車系統(tǒng)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:4006770

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本發(fā)明涉及載置收容基板的基板盒而在環(huán)狀的軌道上循環(huán)行進(jìn)的行進(jìn)車系統(tǒng)。本 申請基于2009年3月30日在日本提出申請的特愿2009-081661號及2009年3月30日在 日本提出申請的特愿2009-081662號主張優(yōu)先權(quán),這里引用其內(nèi)容。背景技術(shù)以往,已知有沿著軌道配置有對在軌道上行進(jìn)的行進(jìn)車進(jìn)行輸送物的取放的輸 送物保管擱板的行進(jìn)車系統(tǒng)(例如參照特開平10-273204號公報(bào))、以及為了對處理輸 送物的處理裝置移載輸送物而設(shè)有行進(jìn)車能夠進(jìn)入的泊位的行進(jìn)...
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