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MEMS芯片和傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40408435

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本技術(shù)涉及密封結(jié)構(gòu),更具體地,本技術(shù)涉及一種mems芯片和傳感器。背景技術(shù)、在現(xiàn)有技術(shù)中,mems(micro-electro-mechanical?system,微機(jī)電系統(tǒng))芯片的應(yīng)用特別普遍,尤其應(yīng)用于各類傳感器中。但由于一些傳感器的使用環(huán)境較為惡劣,會(huì)導(dǎo)致油污、液體等異物容易入侵mems芯片,導(dǎo)致mems芯片受到污染而使其性能受到影響或失效,限制了傳感器的工作適用場(chǎng)景。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本實(shí)用新型的一個(gè)目的是提供一種mems芯片和傳感器的新的技術(shù)方案,以至少解決背景技術(shù)的問(wèn)題之一。、根據(jù)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

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