技術(shù)編號(hào)：40428708
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及氣體傳感器，尤其涉及一種陣列式氣體傳感器及制備方法。背景技術(shù)、在氣體傳感領(lǐng)域，傳統(tǒng)半導(dǎo)體傳感器、電化學(xué)傳感器和光學(xué)氣敏分析儀等得到廣泛應(yīng)用。盡管單一獨(dú)立探測(cè)器在特定場(chǎng)合能夠有效工作，但在復(fù)雜環(huán)境或檢測(cè)成分復(fù)雜的混合氣體時(shí)，其檢測(cè)范圍、交叉敏感性及環(huán)境適應(yīng)性往往無法滿足實(shí)際需求。、微電子機(jī)械系統(tǒng)（mems）氣體傳感器通過將氣體的種類和濃度轉(zhuǎn)換為可測(cè)量的電信號(hào)，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體的低濃度響應(yīng)。在mems氣體傳感器上設(shè)置傳感陣列能夠通過多個(gè)感知單元對(duì)單一或多種目標(biāo)氣體進(jìn)行檢測(cè)，從而提高檢測(cè)的準(zhǔn)確...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。