技術編號：40429425
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本公開涉及微機電，尤其涉及一種振鏡單元及其制備方法、掃描鏡、雷達系統(tǒng)。背景技術、微機電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical?system，mems)振鏡是一種基于mems技術工藝制作而成的微小可驅動反射鏡，通常鏡面直徑通常只有幾毫米。、與傳統(tǒng)光學掃描鏡相比，具有重量輕，體積小，易于大批量生產(chǎn)，生產(chǎn)成本較低的優(yōu)點。在光學、機械性能和功耗方面表現(xiàn)更加突出。mems振鏡目前在激光雷達、高清投影、激光共焦顯微系統(tǒng)、增強現(xiàn)實(augmented?reality，ar)等市場都有了成熟...
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