技術(shù)編號(hào)：40429582
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及石英舟，具體為一種石英小舟側(cè)翻的報(bào)警預(yù)防裝置。背景技術(shù)、石英舟是承載硅片的器具，在硅片擴(kuò)散工藝中，將硅片置于石英舟中進(jìn)行高溫處理。擴(kuò)散工藝中高純石英小舟作為載具，由于石英小舟在高溫狀態(tài)下使用一段時(shí)間后，會(huì)有輕微變形，自動(dòng)化機(jī)構(gòu)在對(duì)石英舟取放過程中容易出現(xiàn)位置偏移，石英舟容易發(fā)生側(cè)翻，人員未及時(shí)發(fā)現(xiàn)，會(huì)造成石英小舟損壞，同時(shí)造成設(shè)備故障，進(jìn)而導(dǎo)致硅片斷裂，降低產(chǎn)品的產(chǎn)出，生產(chǎn)效率低。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本實(shí)用新型的目的是提供一種石英小舟側(cè)翻的報(bào)警預(yù)防裝置，以解決上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處。...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。