技術(shù)編號：40430214
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及真空鍍膜輔助設(shè)備，具體是一種用于pvd加工的螺旋式掛具防水鍍膜加工機(jī)結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、pvd物理氣相沉積鍍膜中需要將鍍膜工件懸掛在鍍膜真空腔中進(jìn)行真空鍍膜，目前，鍍膜工藝廣泛應(yīng)用于光學(xué)、半導(dǎo)體等諸多領(lǐng)域?，F(xiàn)有鍍膜工藝通常以物理蒸鍍法為主，其操作方法一般是將待鍍膜工件洗凈后置于一支撐機(jī)構(gòu)上，送入鍍膜機(jī)進(jìn)行加熱及抽真空。在待鍍膜工件周圍環(huán)境形成高真空狀態(tài)后，加熱薄膜材料，以將薄膜材料由固態(tài)轉(zhuǎn)化為氣態(tài)或離子態(tài)，并由蒸發(fā)源穿越空間，抵達(dá)待鍍膜工件表面，在表面上沉積而逐漸形成薄膜。、公告號為c...
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