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一種光伏硅片干燥方法與流程技術資料下載

技術編號:40431155

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本申請屬于半導體生產(chǎn),尤其是涉及一種光伏硅片干燥方法。背景技術、隨著光伏生產(chǎn)設備生產(chǎn)效率的提升,單個光伏花籃所容納的光伏硅片的數(shù)量越來越大。單個光伏花籃能夠容納兩組光伏硅片,極大得提高了單次生產(chǎn)的效率。在進行工藝清洗時,為了減小槽體的寬度,光伏花籃是以豎直狀態(tài)置入工藝清洗槽內進行清洗,但是在干燥時,當風口位于頂部時,為了提高干燥效果,就需要把光伏花籃放倒,使兩組光伏硅片呈水平狀態(tài)。、同時現(xiàn)有技術中的光伏硅片是通過放入單獨的干燥槽內進行,干燥效率低,無法滿足光伏硅片大批量干燥的需要。技術實現(xiàn)思...
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