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一種用于研磨機(jī)臺(tái)的過(guò)濾裝置及機(jī)臺(tái)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40433800

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本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域,尤其涉及一種用于研磨機(jī)臺(tái)的過(guò)濾裝置及機(jī)臺(tái)。背景技術(shù)、ipec?wcmp機(jī)臺(tái)的單個(gè)研磨頭工作原理是上行電機(jī)頭通過(guò)鍵連接帶動(dòng)中間軸轉(zhuǎn)動(dòng),中間軸再通過(guò)鍵連接帶動(dòng)晶片頭進(jìn)行逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)速為轉(zhuǎn)/分鐘,下行電機(jī)頭通過(guò)皮帶連接帶動(dòng)拋光喇叭口進(jìn)行順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)速為轉(zhuǎn)/分鐘。、晶圓夾在晶片頭和拋光喇叭口之間,晶面朝下,上下各施加一個(gè)壓力,上部施加的壓力為.psi,下部施加的壓力為psi,頂起晶圓,并通過(guò)管路留出研磨液,以達(dá)到鎢金屬平坦化的目的。、機(jī)臺(tái)的上半...
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