技術(shù)編號(hào):40433800
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域,尤其涉及一種用于研磨機(jī)臺(tái)的過(guò)濾裝置及機(jī)臺(tái)。背景技術(shù)、ipec?wcmp機(jī)臺(tái)的單個(gè)研磨頭工作原理是上行電機(jī)頭通過(guò)鍵連接帶動(dòng)中間軸轉(zhuǎn)動(dòng),中間軸再通過(guò)鍵連接帶動(dòng)晶片頭進(jìn)行逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)速為轉(zhuǎn)/分鐘,下行電機(jī)頭通過(guò)皮帶連接帶動(dòng)拋光喇叭口進(jìn)行順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng),轉(zhuǎn)速為轉(zhuǎn)/分鐘。、晶圓夾在晶片頭和拋光喇叭口之間,晶面朝下,上下各施加一個(gè)壓力,上部施加的壓力為.psi,下部施加的壓力為psi,頂起晶圓,并通過(guò)管路留出研磨液,以達(dá)到鎢金屬平坦化的目的。、機(jī)臺(tái)的上半...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。
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- 鄔老師:1.高分子材料的共混與復(fù)合 2.涉及材料功能化及結(jié)構(gòu)與性能的研究; 高分子熱穩(wěn)定劑的研發(fā)
- 褚老師:高分子生物材料與生物傳感器,包括抗菌/抗污高分子材料、生物基高分子材料、超分子水凝膠、蛋白質(zhì)材料的合成與自組裝、等離子體聚合功能薄膜、表面等離子體共振光譜(SPR)、表面增強(qiáng)拉曼散射(SERS)生物傳感器等。
- 廖老師:1. 晶面可控氧化鋁、碳基載體及催化劑等高性能、新結(jié)構(gòu)催化材料研究 2. 乙烯環(huán)氧化催化劑的研究與開(kāi)發(fā) 3. 低碳不飽和烯烴的選擇性氧化催化劑及工業(yè)技術(shù)開(kāi)發(fā)
- 李老師:1. 加氫精制 2. 選擇加氫 3. 加氫脫氧 4. 介孔及介微孔分子篩合成及催化應(yīng)用
- 賈老師:生物材料
- 才老師:1.光合細(xì)菌及暗發(fā)酵細(xì)菌生物制氫技術(shù)研究 2. 有機(jī)廢水生物處理與資源化利用技術(shù)研究 3. 生物活性物質(zhì)篩選與利用研究
- 王老師:功能高分子材料,污水處理,電化學(xué)合成