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用于單晶爐的防濺裝置和單晶爐的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40433970

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本發(fā)明涉及晶體制造,更具體地,涉及一種用于單晶爐的防濺裝置和單晶爐。背景技術(shù)、相關(guān)技術(shù)中,單晶體制造所需的硅料內(nèi)含氫量偏高,硅料在受熱熔化過程中會(huì)出現(xiàn)氫跳現(xiàn)象,容易造成硅液濺出,使得硅液吸附在水冷屏上,降低了單晶體生產(chǎn)的成晶率,影響生產(chǎn)工序。、參見相關(guān)技術(shù)文件cn.,公開了水冷屏的下端設(shè)置圓環(huán)形護(hù)套,圓環(huán)形護(hù)套與水冷屏的下端連接,通過水冷屏和圓環(huán)形護(hù)套固定在石英坩堝上方,避免水冷屏高溫熔斷或爆裂,且能夠延伸水冷屏的長(zhǎng)度,延伸水冷屏的熱折射,有效保證單晶爐內(nèi)良好的溫度...
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