技術(shù)編號(hào)：40437944
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本文的描述涉及檢查系統(tǒng)領(lǐng)域，更具體地說，涉及用于在檢查期間改善圖像質(zhì)量的系統(tǒng)。背景技術(shù)、在集成電路(ic)的制造過程中，需要對未完成或已完成的電路部件進(jìn)行檢查，以確保它們按照設(shè)計(jì)制造且沒有缺陷。使用光學(xué)顯微鏡的檢查系統(tǒng)通常具有低至幾百納米的分辨率；并且分辨率受光波長的限制。隨著ic部件的物理尺寸不斷減小到納米以下甚至納米以下，需要具有比使用光學(xué)顯微鏡的檢查系統(tǒng)更高的分辨率的檢查系統(tǒng)。、帶電粒子(例如，電子)束顯微鏡，諸如掃描電子顯微鏡(sem)或透射電子顯微鏡(tem)，其分辨率可...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。
請注意，此類技術(shù)沒有源代碼，用于學(xué)習(xí)研究技術(shù)思路。