欧美在线观看视频网站,亚洲熟妇色自偷自拍另类,啪啪伊人网,中文字幕第13亚洲另类,中文成人久久久久影院免费观看 ,精品人妻人人做人人爽,亚洲a视频

光掩膜和曝光顯影的方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40438170

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。

本公開實(shí)施例涉及半導(dǎo)體,特別是涉及一種光掩膜和一種曝光顯影的方法。背景技術(shù)、傳統(tǒng)的.d集成電路為了更好的性能和更低的功耗,通過(guò)使用硅中介層(siinterposer)和硅通孔(tsv)技術(shù),將存儲(chǔ)/邏輯電路/芯片等集成在單個(gè)封裝結(jié)構(gòu)中。在芯片上晶圓基板(chip-on-wafer-on-substrate,cowos)的設(shè)計(jì)中,形成大型的硅中介層需要采用縫合曝光技術(shù)來(lái)避免光罩尺寸對(duì)硅中階層大小的限制,曝光形成大型中階層對(duì)應(yīng)的光掩模圖案時(shí),典型光刻工藝中需要使用多個(gè)小的光掩膜板進(jìn)行縫合曝光以...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。

詳細(xì)技術(shù)文檔下載地址↓↓

提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。
該分類下的技術(shù)專家--如需求助專家,請(qǐng)聯(lián)系客服
  • 孫老師:1.機(jī)機(jī)器人技術(shù) 2.機(jī)器視覺(jué) 3.網(wǎng)絡(luò)控制系統(tǒng)
  • 楊老師:物理電子學(xué)
克什克腾旗| 上栗县| 昌江| 泽普县| 全南县| 景泰县| 遵义县| 玛沁县| 姚安县| 富平县| 永修县| 麻栗坡县| 麦盖提县| 遵义市| 长宁区| 乐安县| 泉州市| 佳木斯市| 平乡县| 东山县| 灵武市| 临邑县| 城口县| 泰兴市| 元谋县| 三穗县| 南江县| 和田市| 临潭县| 衡东县| 洮南市| 大田县| 莫力| 海安县| 芷江| 屏东市| 拉孜县| 博湖县| 来凤县| 唐河县| 仙游县|