技術(shù)編號:40442372
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開文本涉及在容器中收納有異丙醇的異丙醇收納體及該收納體的制造方法、以及異丙醇收納體的品質(zhì)管理方法。背景技術(shù)、異丙醇(也稱為-丙醇)是各種用途中使用的有機(jī)溶劑,尤其在半導(dǎo)體器件的制造工序中作為清洗液或干燥液使用。近年來,在謀求半導(dǎo)體器件的高性能化的過程中,元件及布線的微細(xì)化及高集成化不斷發(fā)展,對于作為清洗液或干燥液使用的異丙醇,也要求金屬雜質(zhì)極少的高純度化。、例如,專利文獻(xiàn)中記載,若在半導(dǎo)體器件的制造工序中,在清洗用途中使用因長期保存而雜質(zhì)增加的異丙醇,則有時在清洗及干燥后來源于異丙醇...
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