技術(shù)編號：40443968
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及自動化設(shè)備，尤其涉及一種用于石墨舟的自動拆裝系統(tǒng)。背景技術(shù)、太陽能硅片的生產(chǎn)加工中有一道程序叫做pecvd鍍膜，其作用是提高硅片的太陽能轉(zhuǎn)化率。這個工序就用到石墨舟。石墨舟作為太陽能電池片在鍍上減反射膜時的一種載體，其結(jié)構(gòu)和大小直接影響硅片的轉(zhuǎn)換效率和生產(chǎn)效率。、在石墨舟往返多次進出pecvd工序后，石墨舟表面會因為多次鍍膜原因?qū)е潞穸?、尺寸發(fā)生改變。而其中，石墨卡點末端凸起與石墨舟頁之間凹槽因為多次鍍膜導(dǎo)致凹槽的尺寸會變小，當(dāng)凹槽尺寸變小到一定程度后，未鍍膜的硅片就無法再放入這個...
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