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一種通用型一體化溫控裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40445912

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本技術(shù)屬于半導(dǎo)體設(shè)備冷卻,尤其涉及一種通用型一體化溫控裝置。背景技術(shù)、半導(dǎo)體設(shè)備中需要應(yīng)用溫度控制裝置為設(shè)備內(nèi)的熱源器件或內(nèi)部環(huán)境提供高精度恒溫循環(huán)冷卻水,用以吸收熱源器件產(chǎn)生的熱量,實(shí)現(xiàn)對(duì)熱源器件或內(nèi)部環(huán)境的高精度溫控,使其能穩(wěn)定工作,從而保證半導(dǎo)體設(shè)備的整體工作性能。、現(xiàn)有的溫控裝置中的水循環(huán)動(dòng)力主要由臥式水泵提供,與制冷單元布置一層,水箱及加熱部件布置一層,電氣單獨(dú)布置一層,結(jié)構(gòu)布局不合理,裝置體積偏大,原材料用量大,導(dǎo)致制造成本高,也會(huì)造成客戶現(xiàn)場(chǎng)安裝使用占地面積大的問題,影響客戶使...
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