技術(shù)編號(hào):40447778
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及干蝕刻機(jī),尤其涉及一種用于液晶面板干蝕刻機(jī)的支撐銷(xiāo)及基板支撐結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、現(xiàn)有的液晶面板干蝕刻機(jī)真空準(zhǔn)備室的基板支撐結(jié)構(gòu)如圖所示,包括底座,在底座的頂部設(shè)置有六列的支撐銷(xiāo)組件,每列支撐銷(xiāo)組件均包含個(gè)支撐銷(xiāo)。因此,液晶面板干蝕刻機(jī)的真空準(zhǔn)備室共有顆支撐銷(xiāo)。支撐銷(xiāo)由防靜電的鐵氟龍材質(zhì)制成,現(xiàn)有的支撐銷(xiāo)的結(jié)構(gòu)如圖所示,支撐銷(xiāo)的下部為具有螺紋的螺紋段,用于旋入到底座內(nèi),支撐銷(xiāo)的頂部為圓弧面。、在底座的每個(gè)角部均布置有一個(gè)定位氣缸?;逑葟拇髿馐直?..
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