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母盤的制造方法、轉(zhuǎn)印物的制造方法、復(fù)制母盤的制造方法以及母盤的制造裝置與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40452387

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本發(fā)明涉及母盤的制造方法、使用了母盤的轉(zhuǎn)印物以及復(fù)制母盤的制造方法以及母盤的制造裝置。背景技術(shù)、近年來(lái),作為微細(xì)加工技術(shù)之一,正在進(jìn)行通過(guò)將在表面上形成了微細(xì)凹凸圖案的平板形狀或圓柱形狀的母盤按壓至樹脂片等上而將母盤上的微細(xì)的凹凸圖案轉(zhuǎn)印至樹脂片等的納米壓印技術(shù)的研發(fā)。在制造這種壓印用的母盤的情況下,使用利用激光束的曝光的光蝕刻技術(shù)。、例如,在專利文獻(xiàn)中公開了一種通過(guò)激光束的光蝕刻在平板形金屬模具母盤的表面上形成微透鏡的凹凸結(jié)構(gòu)的技術(shù)。、此外,在專利文獻(xiàn)中公開了一種如下技術(shù),其通過(guò)激光...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
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