技術(shù)編號:40453000
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開總體上涉及一種用于激光材料加工中的振鏡的冷卻系統(tǒng)。背景技術(shù)、激光加工系統(tǒng)包括許多光學(xué)元件。在某些激光材料加工應(yīng)用中,所謂的振鏡被成功地用于偏轉(zhuǎn)激光束。振鏡是具有高反射涂層的反射鏡,其經(jīng)由軸連接到檢流計驅(qū)動器,使得反射鏡可以運動以偏轉(zhuǎn)激光束。、使用振鏡的一個問題是它們的熱絕緣。振鏡的溫度的增加可導(dǎo)致對激光材料加工的產(chǎn)量的限制。、已知現(xiàn)有的振鏡由玻璃制成,其中一小部分激光被透射,其未被高反射薄膜涂層反射。此外,已知由具有良好導(dǎo)熱性的材料(例如鋁)制成的振鏡,使得熱梯度變平并且所產(chǎn)生的變形...
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