技術(shù)編號：40453302
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種微機(jī)電促動器結(jié)構(gòu)以及一種具有這樣的微機(jī)電促動器結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)元件。背景技術(shù)、由現(xiàn)有技術(shù)已知微機(jī)電促動器結(jié)構(gòu)，所述微機(jī)電促動器結(jié)構(gòu)可以例如在揚(yáng)聲器、泵和閥中使用。借助這些微機(jī)電促動器結(jié)構(gòu)，能夠使效用元件運(yùn)動。一種驅(qū)動可能性以所謂的雙向靜電驅(qū)動器的形式給出，該驅(qū)動器具有移位電容器結(jié)構(gòu)(verschiebekondensatorstruktur)。在此，給至少兩個電容器板加載正的和負(fù)的直流電壓，而給與其錯位的電容器板加載有用信號。在此，有用信號可以是交流電壓，例如當(dāng)設(shè)置有用于揚(yáng)聲器膜片的驅(qū)...
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