技術(shù)編號:40457472
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明內(nèi)容是有關(guān)于一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)以及一種半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的制造方法。背景技術(shù)、隨著半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的尺寸越來越小,制造半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的工藝變得困難。半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)可以被配置以儲存數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)。連接于晶體管的多個(gè)字元線能夠打開或關(guān)閉晶體管。如果晶體管處于打開狀態(tài),則晶體管可以與電容器連接,以充電或放電電容器,并且數(shù)據(jù)可以通過連接于晶體管的位元線進(jìn)行寫入或讀取。、此外,制造半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的工藝中存在一些挑戰(zhàn)。遮罩堆疊與下面層的平整性可能會影響半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的性能,其中遮罩堆疊用以形成位元線。因此,需要一種可以改善半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)性能...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。
該類技術(shù)注重原理思路,無完整電路圖,適合研究學(xué)習(xí)。