技術編號：40459685
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于微機電系統(tǒng)，具體涉及一種基于波函數(shù)的各向異性彈性波的微機電系統(tǒng)性能優(yōu)化方法。背景技術、基于波函數(shù)的各向異性彈性波計算及仿真，主要涉及到對復雜介質中彈性波傳播特性計算模擬，在地球物理學、材料科學、無損檢測、微機電系統(tǒng)等領域具有廣泛應用。微機電系統(tǒng)中的微結構和薄膜材料具有各向異性的力學和彈性特性，傳統(tǒng)的性能優(yōu)化方法大多基于宏觀的、各向同性的假設，難以準確描述微觀尺度下的物理現(xiàn)象。因此，迫切需要一種能夠基于各向異性彈性波數(shù)值模擬的方法來優(yōu)化微機電系統(tǒng)(mems)的性能。為對各向異性介質中彈...
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