技術(shù)編號：40480526
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)涉及余熱再利用，具體而言，涉及一種還原爐余熱高效利用系統(tǒng)。背景技術(shù)、改良西門子法是國際上生產(chǎn)多晶硅的主流技術(shù)，其核心設(shè)備為還原爐。還原爐的工作原理是通過通電高溫硅芯將三氯氫硅與氫氣的混和氣體反應生成多晶硅并沉積在硅芯上。還原爐的反應物料從底盤進入還原爐內(nèi)，爐內(nèi)的反應是以℃左右的硅芯為載體，在表面發(fā)生化學氣相沉積。反應需消耗大量的電能進行加熱到反應溫度，為保護還原爐和提高還原爐的使用壽命，爐體和底盤溫度不可過高，溫度過高，不僅影響設(shè)備壽命，同時存在安全隱患，所以要對還原爐及底盤持續(xù)...
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