技術(shù)編號：40480834
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本公開的例示性的實施方式涉及一種基板處理裝置。背景技術(shù)、在對基板的基板處理中使用基板處理裝置。基板處理裝置具備腔室、配置在腔室內(nèi)的基臺、以及配置在基臺上的靜電保持盤。在下述的專利文獻(xiàn)中，在靜電保持盤內(nèi)配置有加熱器。、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)、專利文獻(xiàn)：日本特開-號公報技術(shù)實現(xiàn)思路、發(fā)明要解決的問題、本公開提供一種確定靜電保持盤的溫度的技術(shù)。、用于解決問題的方案、在一個例示性的實施方式中，提供一種基板處理裝置?；逄幚硌b置具備腔室、基臺、靜電保持盤、控制電路以...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。