技術(shù)編號：40481691
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本技術(shù)涉及柔性夾爪，具體為一種硅片傳輸機器臂用的柔性夾爪。背景技術(shù)、用硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有著驚人的運算能力，在硅片的生產(chǎn)過程中，對硅片進行傳輸時，機器臂需要通過柔性夾爪對硅片進行夾持并轉(zhuǎn)運。、硅片傳輸機器臂用的柔性夾爪在使用時，雖然能夠?qū)杵M行柔性夾持，但夾爪一般在三個或以上，并且單個夾爪需要通過單個液壓桿進行控制，因此柔性夾爪需要使用多個液壓桿對多個夾爪進行控制，使得柔性夾爪的油路控制較為復(fù)雜，使得其生產(chǎn)和維修成本較高，不便使用，因此我們提出了一種硅片傳輸機器臂用的柔性夾...
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