技術編號：40482017
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本技術涉及晶圓清洗的，尤其涉及一種快排清洗槽。背景技術、晶圓在經(jīng)歷酸堿溶液后，酸堿液殘留可能導致設備部件的腐蝕，尤其是當液體殘留在設備表面或通道中時，可能縮短設備的壽命，增加維護成本，酸堿液殘留可能導致表面產(chǎn)生污染或化學反應，影響晶圓的表面質(zhì)量，因此，針對上述問題，提出一種超聲水浴加熱槽。技術實現(xiàn)思路、為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供了如下技術方案：一種快排清洗槽，包括水槽，所述水槽前后兩側(cè)面設置固定支架，所述水槽上方沿所述水槽中心對稱設置噴淋裝置，所述噴淋裝置包括噴淋管、固定板，兩個所述噴淋...
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