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導(dǎo)電凸塊結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40482176

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本申請(qǐng)涉及一種導(dǎo)電凸塊結(jié)構(gòu),尤指一種形成于半導(dǎo)體基板上的導(dǎo)電凸塊結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、相較于打線接合(wire?bond)技術(shù),倒裝芯片封裝(flip?chip?package)的特征在于半導(dǎo)體芯片與封裝基板間的電性連接通過(guò)金屬凸塊而非一般的金線。利用金屬凸塊作為電性連接的元件,具有縮短電性傳導(dǎo)路徑、提升效能、提供散熱路徑及縮小封裝件體積等優(yōu)點(diǎn),因而成為封裝的趨勢(shì)。、然而,當(dāng)半導(dǎo)體芯片通過(guò)該金屬凸塊以倒裝方式熱壓于封裝基板上時(shí),常因熱應(yīng)力使封裝基板對(duì)該金屬凸塊產(chǎn)生下拉的剝離力,造成半導(dǎo)體芯片內(nèi)部的...
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