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多層半導(dǎo)體封裝組件、應(yīng)力調(diào)節(jié)裝置及其制造方法與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40507392

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本揭露關(guān)于一種多層半導(dǎo)體封裝組件、應(yīng)力調(diào)節(jié)裝置及應(yīng)力調(diào)節(jié)裝置的制造方法。背景技術(shù)、半導(dǎo)體元件用于各種電子應(yīng)用,例如個(gè)人計(jì)算機(jī)、單元手機(jī)、數(shù)字相機(jī)和其他電子設(shè)備。半導(dǎo)體元件是通過(guò)相繼地在基底上沉積絕緣或材料的介電層、導(dǎo)電層和半導(dǎo)體層來(lái)制造的,而圖案化各種材料層使用微影在其上形成電路構(gòu)件和組件。隨著半導(dǎo)體行業(yè)追求更高的元件密度、更高的效能和更低的成本而進(jìn)入納米技術(shù)工藝節(jié)點(diǎn),在制造和設(shè)計(jì)問題上的挑戰(zhàn)因而發(fā)展了三維設(shè)計(jì),其包含,例如,金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效晶體管(metal-oxide-silicon?...
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