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一種石英小舟承重強化結構的制作方法技術資料下載

技術編號:40509265

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本技術屬于太陽能電池片生產領域及半導體制造相關,具體涉及一種石英小舟承重強化結構。背景技術、在光伏電池的制備過程中,在工藝爐(比如擴散爐或者沉積爐)中需要有承載硅片的石英舟體,并由推拉舟托起承載硅片的舟體將硅片送入工藝爐內,在硅片的生產工序中,石英小舟起到了重要的承載作用,尤其是在高溫環(huán)境的工序中,石英小舟甚至起到了不可替代的作用,現(xiàn)有的石英小舟承重強化結構主要是由第一支撐板、第二支撐板、第一支撐桿、第二支撐桿、第三支撐桿、第四支撐桿、連接盤、抬柱等部件組合而成的,現(xiàn)有的石英小舟承重強化結構在...
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