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技術(shù)編號：40518214

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本技術(shù)涉及半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)領(lǐng)域，具體涉及一種半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備用預(yù)加熱裝置。背景技術(shù)、采用燒結(jié)技術(shù)的半導(dǎo)體產(chǎn)品封裝，基于半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備進行，半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備具有預(yù)熱、燒結(jié)及冷卻工位。進行預(yù)熱工序時，工裝承載半導(dǎo)體產(chǎn)品，工裝是放置在半導(dǎo)體產(chǎn)品燒結(jié)設(shè)備的預(yù)熱腔內(nèi)進行預(yù)熱的，此過程對溫度有嚴格要求。、目前，主要是通過熱電偶檢測預(yù)熱腔內(nèi)的溫度，再根據(jù)溫度控制預(yù)加熱裝置工作。由于直接檢測的是預(yù)熱腔內(nèi)的溫度，用預(yù)熱腔溫度代表工裝溫度，導(dǎo)致工裝溫度不準(zhǔn)確，自然不能夠?qū)雽?dǎo)體產(chǎn)品的預(yù)熱溫度精確控制在預(yù)設(shè)...
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