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一種MEMS探針濕法電鍍裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40520477

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本發(fā)明屬于半導(dǎo)體探針領(lǐng)域,特別涉及一種mems探針濕法電鍍裝置。背景技術(shù)、半導(dǎo)體發(fā)展歷程中,使用探針在芯片尚未封裝前的晶圓上檢測(cè)出有缺陷的芯片并剔除,從而避免封裝后才發(fā)現(xiàn)問(wèn)題導(dǎo)致的成本浪費(fèi)及良品率低下,確保每個(gè)芯片都達(dá)到設(shè)計(jì)規(guī)格要求及性能一致性等優(yōu)點(diǎn)。因此探針的引進(jìn)被譽(yù)為半導(dǎo)體芯片晶圓級(jí)測(cè)試的里程碑事件。、目前高端探針行業(yè)主要分為懸臂式探針、垂直式探針和mems探針。懸臂探針主要應(yīng)用于顯示驅(qū)動(dòng)器、邏輯和存儲(chǔ)器件的晶圓測(cè)試。垂直式探針主要用于手機(jī)處理器芯片、gpu?芯片或者射頻芯片等測(cè)試。隨著...
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  • 鐘老師:功能配合物能源催化轉(zhuǎn)化
  • 余老師:設(shè)計(jì)和制備新能源電極材料研究材料在氫氣、氧氣、二氧化碳等能源小分子電催化轉(zhuǎn)化中的應(yīng)用,通過(guò)先進(jìn)表征手段和理論模擬計(jì)算理解催化位點(diǎn)和反應(yīng)機(jī)理,力圖發(fā)展幾種具有應(yīng)用前景的電催化劑材料。
  • 匙老師:多酸團(tuán)簇、金屬有機(jī)框架材料的合成性能研究與計(jì)算模擬,主要包括: 1.多酸團(tuán)簇-無(wú)機(jī)晶核共組裝進(jìn)行光催化分解水制氫與二氧化碳還原; 2.低維多孔材料的結(jié)構(gòu)與催化性能的研究。
  • 羅老師:低維納米材料(納米顆粒、納米線/管/框/片、二維材料)的電子顯微分析以及基于電子顯微分析結(jié)果的先進(jìn)能源材料設(shè)計(jì)、制備和器件應(yīng)用。
  • 焦老師:新能源材料設(shè)計(jì)、合成及應(yīng)用研究。主要包括:1二氧化碳電催化還原、電催化分解水制氫等;2原子界面電極材料的制備及能量轉(zhuǎn)換技術(shù)研究。
  • 蔣老師:以儲(chǔ)能和能量轉(zhuǎn)化為導(dǎo)向的功能材料及器件研究,包括:鋰離子電池、鋰硫電池、鈉離子電池、固態(tài)電池及其它新型化學(xué)電源
  • 丁老師:1.材料物理與化學(xué) 2.新能源材料與技術(shù) 3.納米多孔金屬 4.納米催化/電催化 5.化學(xué)合成及修飾 6.燃料電池 7.生物傳感器
  • 孫老師:1. 仿生分離技術(shù)的開發(fā) 2. 光化學(xué) 3. 仿生催化體系的設(shè)計(jì)及作用機(jī)理研究 4. 仿生材料的設(shè)計(jì)、合成及應(yīng)用研究
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