技術(shù)編號(hào)：40522424
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及多晶硅生產(chǎn)設(shè)備，具體為一種多晶硅還原反應(yīng)爐。背景技術(shù)、多晶硅還原反應(yīng)爐時(shí)在晶硅制備過程中的核心設(shè)備，通常將一定配比的三氯氫硅和氫氣混合器從底部進(jìn)氣口噴入，在還原爐內(nèi)發(fā)生氣相還原反應(yīng)，反應(yīng)生成的硅直接沉積在爐內(nèi)的硅芯表面，隨著反應(yīng)的持續(xù)進(jìn)行，硅棒不斷生長，最終達(dá)到產(chǎn)品要求。、現(xiàn)有的多晶硅還原反應(yīng)爐的還原爐鐘罩承擔(dān)著關(guān)鍵的保護(hù)和反應(yīng)作用，但長時(shí)間的使用會(huì)導(dǎo)致鐘罩內(nèi)壁積聚硅粉塵、反應(yīng)物以及其他污染物，而這些污染物若不及時(shí)清理，則容易影響爐內(nèi)溫度的分布；另外現(xiàn)有還原反應(yīng)爐在使用時(shí)，通常會(huì)將...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。