技術(shù)編號：40523863
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及一種石英爐裝置。背景技術(shù)、現(xiàn)有的半導(dǎo)體行業(yè)臥式爐體在生產(chǎn)過程中由于溫度較高，而且是堆疊放置，熱氣從下往上傳導(dǎo)。現(xiàn)有技術(shù)方案是在上方安裝翅片管散熱器，存在的問題是：體積大，占地空間大；散熱效果不好。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本實(shí)用新型的目的是提供一種石英爐裝置，提高散熱效果。、為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是：、一種石英爐裝置，包括柜體、熱交換組件，所述的柜體包括第一收納腔、第二收納腔，所述的第一收納腔、第二收納腔相鄰設(shè)置，所述的第一收納腔用于容納石英爐；所述的熱交換組件設(shè)置在所述...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。