技術(shù)編號(hào):40527854
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于截?cái)鄼C(jī)控制方法的,具體涉及一種立式晶棒截?cái)鄼C(jī)。背景技術(shù)、目前,晶棒截?cái)嗖捎门P式截?cái)鄼C(jī)或立式截?cái)鄼C(jī),在立式截?cái)鄼C(jī)截?cái)嗟倪^程中,需要將晶棒進(jìn)行夾持,并通過截?cái)嘌b置例如線切割裝置或帶鋸切割裝置對該晶棒進(jìn)行切割截?cái)啵绗F(xiàn)有技術(shù)申請?zhí)枮?的中國實(shí)用新型公開了一種立式金剛線截?cái)鄼C(jī),包括物料輸送臺(tái)及設(shè)置在物料輸送臺(tái)一側(cè)的切割機(jī)構(gòu),物料輸送臺(tái)包括底座、設(shè)置在底座上可沿y軸滑動(dòng)的晶托座以及設(shè)置在晶托座上的可沿x軸滑動(dòng)的多個(gè)定心夾爪組件,底座一側(cè)設(shè)置有驅(qū)動(dòng)電機(jī),驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。